Plazma Asitli Polimer Kaldır . Bu işlem bir şekilde , belirli bir gaz (plazma olarak da bilinir) bir ışıltılı bir tahliye kullanan plazma aşındırması olarak adlandırılır. Deşarj, doğrudan örnek bir devre üzerine yüksek hızda bir akış içinde bakliyat olarak yayınlandı. Ücret , atomların ve radikaller oluşur iyonları , ya da nötr olarak sınıflandırılır – etch türler olarak bilinenplazma, , kaynağı iki özelliklerinden birini alabilir . Etch işlem başladığında,devre üzerine akışı olan boşaltmakazınmış malzemesi ve plazma tarafından oluşturulan etch türler arasındaki kimyasal tepkime sonucunda uçucu etch kalıntısı oluşturur. Devrenin fiziksel ve kimyasal özellikleri sonunda plazma akımından atomu takmak ya da yüzeye nüfuz olarak değiştirilir. Plazma akışı için kullanılangaz bağlı olarak, plazma aşındırma polimer için plazma polimer sökücü ( PRX -127 )
etch
entegre devreler gofret
ihtiyaçprocess.Things sonra bir tortu olarak oluşturabilir ağır eldivenler
Cerrahi maske
koruyucu gözlük veya deiyonize ( DI ) su ile durulama tankı
tanklar soyma kurutma makinesi Spin veya kurutma durulama dönmeye

gözlük
Daha göster
talimatlar 1

Plazma aşındırma polimer muhtemel karbon hydrotrifluoride ve oktafloropropan gibi florokarbon bazlı gazlar ile plazma aşındırma işlemi kullandıktan sonra oluşacak
. Bu gazlar sonra entegre devre gofret aktarılır , plazmada doymamış bileşikleri oluşturur. Bunlar devam etmek daha fazla plazma işleme için sırayla kaldırılmalıdır .
2 tehlikeli kimyasalların çevresinde aşırı dikkatli olun .

Plazma PRX – 127 , eter elemanlardan oluşan bir kimyasal bileşiktir olarak bilinen polimer sökücü , etch , sülfoksit ve hidroksit ve veya dokunma nefes almak son derece tehlikelidir. Bu ürünü kullanmaya başlamadan önce , eldiven , gözlük ve maske giyilmelidir tavsiye edilir . Islak – tezgah daldırma işlemi bu bileşiği işlemek içingüvenli yollarından biridir , ve çok az fiziksel etkileşimi gerektirir .
3

ıslak – tezgah için özel olarak tasarlanmış iki sıyırma tankları doldurunuz PRX -127 çözeltisi ile ve 70-90 santigrat derece bir sıcaklığa getirmek yöntem. Dikkatle koruyucu eldiven kullanılaraktanklarının birineetkilenen devre gofret yerleştirin . Gofret en az beş dakika boyunca solüsyon kalmak ama artık optimum bir etki için 20 dakikadan fazla olmalıdır. Bir mekanik veya ses – tabanlı ajitasyon yöntemiilk banyo sırasında önerilir .
4.

banyo döngüsü tamamlandıktan sonra, ikinci içinilk sıyırma tankındangofret aktarın ve beş için tekrargofret emmek ek çalkalanmadan 20 dakika . Bu ikinci banyo gofretin yüzeyinde tortu altında polimerin mevcut katman kaldırır.
5 iyonu giderilmiş su başka bir mineral ile , tamamen saf sudur.PRX -127 çözeltisindengofret çıkarın

ve SVC- 300 durulama , öncelikle boya çıkarılması için kullanılan bir çözeltisi ile doldurulmuş üçüncü bir kaba transfer edin. Bu toksik ve yanmaz vegofret zarar vermez olarak kullanmak için oldukça güvenlidir . Gofret 2-3 dakika boyunca bu çözelti içinde kalmalıdır. Deiyonize su – – nihai çözüm içinegofret aktarmak altı ila sekiz döngüleri için bir durulama tankı içinde ve daha sonraçözümün tüm izlerini kaldırmak için bir spin kurutma makinesi ya da spin- durulama kurutma makinesi kullanın. Gofret polimerlerin tamamen ücretsiz olması , ve şimdi daha plazma kazınmış işlenmek üzere tekrar kullanılmak üzere güvenli olmalıdır.