Atomlar negatif yüklü bir elektron bulutu ile çevrili pozitif yüklü bir çekirdekten oluşurlar . Bazen atomlar onları net bir pozitif ya da negatif yük elde yol açar , elektron kazanabilir veya kaybedebilir . Bir net yüke sahip bir atom , bir iyon olarak bilinir. Plazma iyonlarının bir bulut olduğunu ve buyan iletken işleme endüstrisinde kullanan bir dizi olabilir. Bir plazma Sen Argon kütle akış kontrol
Döner pompa

RF vakum odasına ihtiyacınız olacak radyo frekansı ( RF ) radiation.Things üreten bir güç kaynağı kullanarak bir Argon dolu vakum odasına üretilebilir RF eşleme ağı
Turbo pompa
RF güç kaynağı Daha Talimatları 1.döner pompa açın vebasınç için bekleyin

göster

2 RF kabloları
10 ^ -3 millibar olsun. Turbo pompa açın , ve o kadar rampa için bekleyin . Yaklaşık 10 ^ -6 millibar bir basınca kadar bekleyin ulaşılır .
2.

RF eşleşen birim ve RF güç kaynağı arasına bir RF kablosu bağlayın . RF eşleştirme birimi arasındaki bir başka kablo veRF vakum odası elektrot soketine bağlayın .Turbo pompavana
3

Kısmen yakın . Argon kütle akış kontrol açın ve 15 milibar basınç ayarlanır . RF güç kaynağı ve eşleme ünitesi açın . 50 Watt bir güç ileri ayarlayın. Buyansıyan RF gücü en aza indirmek için çalışır gibieşleştirme birimi duyulur . Yansıyan güçileri gücün yüzde 1’den az olduğunda , yaklaşık 150 Watt’aileri gücünü artırmak . Odanın içindekiplazma ışık veodacık görünümü – port olsa görünür olmalıdır . Yavaşça geri 50 Wattileri gücü azaltmak . RF çift plazma oluşturulur .